总结

中核集团表示，我国首台串列型高能氢离子注入机（POWER-750H）近日在中国原子能科学研究院实现成功出束，核心指标达到国际先进水平。该设备面向功率半导体等制造关键工艺需求，标志我国已全面掌握从整机设计、制造集成到调试运行的全链路研发技术，攻克功率半导体制造链关键环节，有助提升高端制造装备自主可控水平并增强产业链安全保障能力。