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总结
中国原子能科学研究院成功研制我国首台串列型高能氢离子注入机（POWER-750H）并顺利出束，意味着高能离子注入关键装备取得国产化突破。离子注入机与光刻机、刻蚀机、薄膜沉积设备并称芯片制造四大核心装备，此前该类高能设备在国内完全依赖进口。原子能院基于串列加速器技术，形成从底层原理到整机集成的正向设计与系统集成能力，打破国外技术封锁，为功率半导体等关键领域的自主保障与后续工程化应用奠定基础。
正文
我国首台串列型高能氢离子注入机成功出束 中国原子能科学研究院成功研制出我国首台串列型高能氢离子注入机（POWER-750H）并顺利出束。离子注入机与光刻机、刻蚀机、薄膜沉积设备并称为芯片制造四大核心装备，此前该类高能设备在我国完全依赖进口。 原子能院通过串列加速器技术，掌握了从底层原理到整机集成的正向设计能力，打破了国外在该领域的技术封锁。此项成果将提升我国在功率半导体等关键领域的自主保障能力。 ccnta.cn 🍀 在花频道 🍵 茶馆聊天 📮 投稿
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